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包括单元阵列和背侧电源轨的集成电路制造技术
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下载包括单元阵列和背侧电源轨的集成电路的技术资料
文档序号:41399386
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公开了包括单元阵列和背侧电源轨的集成电路。所述集成电路包括:单元阵列,包括多个单元,每个单元包括晶体管;电源轨,在单元阵列下方的电源轨层中,电源轨将电力提供给单元阵列;以及多个接触件,在单元阵列与电源轨之间。每个接触件从所述多个单元中的相应...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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