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本文提供兆声波清洁腔室的实施方式。在一些实施方式中，兆声波清洁腔室包括：腔室主体，界定该腔室主体中的内部空间；基板支撑件，支撑设置于该内部空间中的基板；供应管，包括透明材料，该透明材料被构造为引导清洁流体至该基板支撑件；兆声波功率产生器，耦...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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