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本公开提供了一种用于对探针进行监测的方法、半导体设备及存储介质，用于对探针进行监测的方法包括：获取目标参考值，目标参考值基于目标制程形成的第一图像或第一形貌确定；控制目标探针对目标制程形成的待测图形或待测形貌进行测量，以获取目标探针的测量信...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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