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本发明的一个方式的电子束描绘装置的特征为，具备：发射源，发射电子束；工作台，载置使用电子束被描绘图案的试样；电位规定部件，配置成当在工作台上载置有试样时位于试样的上游，相对于试样设定为正的固定电位；电位施加电路，向试样或者电位规定部件施加电...
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