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本发明的示例性实施例涉及制造辐射发射器(100)的方法，包括以下步骤：在衬底(10)之上制造下层堆叠(20)，下层堆叠(20)包括下接触层(21)和至少一个下反射器(22)；在下层堆叠(20)之上制造中间层堆叠(30)，中间层堆叠(30)包...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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