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本发明提供一种基板搬送装置，搬送涂敷有处理液、被实施热处理的被处理基板，抑制在热处理后的处理膜上产生转印斑。该基板搬送装置（５）对涂敷有处理液、被实施热处理的被处理基板（Ｇ）进行搬送，其具有：搬送滚子（５０），在上述被处理基板（Ｇ）的宽度方...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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