基板搬送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板搬送装置，搬送涂敷有处理液、被实施热处理的被处理基板，抑制在热处理后的处理膜上产生转印斑。该基板搬送装置（５）对涂敷有处理液、被实施热处理的被处理基板（Ｇ）进行搬送，其具有：搬送滚子（５０），在上述被处理基板（Ｇ）的宽度方向延伸，并且被轴支承而能够在基板搬送方向旋转，在基板搬送方向隔开规定间隔铺设；旋转轴（５１），对上述搬送滚子（５０）进行轴支承；和驱动单元，对上述旋转轴（５１）进行旋转驱动。上述搬送滚子（５０）的外周面形成为在轴方向相连续的凹凸形状，该外周面的轴方向的凸部顶端做成曲率半径为３ｍｍ以下的尖顶。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种对平板显示器(FPD)用的玻璃基板等被处理基板 进行搬送的基板搬送装置，尤其涉及在加热装置中以平流方式搬送被 实施热处理的被处理基板的基板搬送装置。
技术介绍
在FPD的制造中，为了在FPD用的玻璃基板上形成电路图案而使 用光刻技术。利用光刻技术形成电路图案按照以下步骤进行，即，在 玻璃基板上涂敷作为处理液的抗蚀液，形成抗蚀剂膜，以与电路图案 对应的方式将抗蚀剂膜曝光，对其进行显影处理。在光刻技术中， 一般在形成抗蚀剂膜和显影处理后，为了使抗蚀 剂膜干燥，对玻璃基板实施加热处理。在上述加热处理中，作为搬送玻璃基板的手段，有如下的滚子搬 送方式，即，将玻璃基板的两端载置在具有旋转轴的多个搬送辊上， 通过该搬送辊的旋转搬送基板。但是，由于近年来玻璃基板的大型化，存在仅仅载置长方形的玻 璃基板的两端这两边会使基板弯曲成凹状的问题。因此，如专利文献l等的记载(参照图7)，不仅是支承基板G的 两端的搬送滚子50，在基板G的中央附近，也通过搬送滚子51 (支承 辊)辅助地支承基板G，以免使其弯曲成凹状。专利文献1日本专利第3960087号公报但是，存在如下问题，即，通过搬送滚本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬送装置，对涂敷有处理液、被实施热处理的被处理基板进行搬送，其特征在于，包括：　　　　搬送滚子，在所述被处理基板的宽度方向延伸，并且被轴支承而能够在基板搬送方向旋转，在基板搬送方向隔开规定间隔铺设；　　　　旋转轴，对所述搬送滚子进行轴支承；和　　　　驱动单元，对所述旋转轴进行旋转驱动，　　　　所述搬送滚子的外周面形成为在轴方向相连续的凹凸形状，　　　　所述外周面上的轴方向的凸部顶端做成曲率半径为３ｍｍ以下的尖顶。

【技术特征摘要】
JP 2008-8-29 2008-2207691.一种基板搬送装置，对涂敷有处理液、被实施热处理的被处理基板进行搬送，其特征在于，包括搬送滚子，在所述被处理基板的宽度方向延伸，并且被轴支承而能够在基板搬送方向旋转，在基板搬送方向隔开规定间隔铺设；旋转轴，对所述搬送滚子进行轴支承；和驱动单元，对所述旋转轴进行旋转驱动，所述搬送滚子的外周面形成为在轴方向相连续的凹凸形状，所述外周面上的轴方向的凸部顶端做成曲率半径为3mm以下的尖顶。2. 如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于 在所述搬送滚子的被形成为凹凸形状的外周面上，在轴方向相连续的凸部顶端间的距离尺寸至少为2mm以上，相对于所述凸部顶端的 凹部的深度尺寸至少为lmm以上。3. 如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于-所述搬送滚子，在轴方向具有规定长度的多个筒状滚子部件被安装在所述旋转轴上，并且各滚子部件与相邻的滚子部件连接，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：相马康孝，八寻俊一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]