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本公开提供了一种样品载台、样品载台的制作方法及样品的制备方法，样品载台包括基底、保护层和样品支撑层，保护层设置于基底的顶面，样品支撑层设置于保护层的顶面，样品支撑层包括阵列设置的多个支撑位，保护层用于降低基底与样品支撑层之间的肖特基势垒。在...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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