下载一种绝对式平面二维时栅位移传感器的技术资料

文档序号:41364250

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本发明公开了一种绝对式平面二维时栅位移传感器,其激励单元包括具有X向粗测激励组Ⅰ、Ⅱ的第一激励线圈线阵,具有Y向粗测激励组Ⅰ、Ⅱ的第二激励线圈线阵,具有X向精测激励组Ⅰ、Ⅱ的第三激励线圈线阵和具有Y向精测激励组Ⅰ、Ⅱ的第四激励线圈线阵;其感...
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