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本发明提供基板载置机构、基板处理装置和基板载置机构的控制方法。该基板载置机构能够可靠地支承被处理基板，且能够对被处理基板进行均匀的处理。该基板载置机构包括：在载置台（４）的内侧自由突出没入地被设置、支承被处理基板（Ｇ）的外周边缘部的第一升降...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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