基板载置机构、基板处理装置和基板载置机构的控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供基板载置机构、基板处理装置和基板载置机构的控制方法。该基板载置机构能够可靠地支承被处理基板，且能够对被处理基板进行均匀的处理。该基板载置机构包括：在载置台（４）的内侧自由突出没入地被设置、支承被处理基板（Ｇ）的外周边缘部的第一升降器（８ａ）；和在载置台（４）的外侧能够向载置台（４）的载置面的上方移动地被设置，支承比第一升降器（８ａ）支承被处理基板（Ｇ）的位置更靠被处理基板（Ｇ）的中央的部分的第二升降器（８ｂ（８ｂ１）），在使被处理基板（Ｇ）的背面部分地抵接在载置面上的状态下，在第一升降器（８ａ）与第二升降器（８ｂ（８ｂ１））间进行被处理基板（Ｇ）的交接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及载置平板显示器(FPD)用玻璃基板等具有可挠性的被 处理基板的基板载置机构、具有该基板载置机构的基板处理装置、基 板载置机构的控制方法和使计算机实施该控制方法的计算机能够读取 的存储介质。
技术介绍
在FPD的制造工艺中，对作为被处理基板的FPD用的玻璃基板， 实施蚀刻、溅射、化学气相生长(CVD)等各种处理。这样的处理通 常在将玻璃基板载置在设置于腔室内的载置台上的状态下进行，相对 于载置台的基板的装载和卸载， 一般由设置为相对于载置台的载置面 能够突出没入的多个升降销(升降器)进行。在装载基板时，使升降 销上升，从载置台的载置面突出，将由搬送臂等搬送机构搬送的玻璃 基板转移至升降销上，之后使升降销下降，将玻璃基板载置在载置台 的载置面上。此外，卸载基板时，使升降销上升，使玻璃基板离开载 置台的载置面之后，将升降销上的玻璃基板移载至搬送臂等搬送机构。近年来，FPD向着薄型化或大型化发展，甚至出现了厚度为 l.lmm、 0.7mm、 0.4mm以下的薄玻璃基板、或一边超过2m的巨大的 玻璃基板。这样薄或巨大的玻璃基板容易发生弯曲，仅靠升降销支承玻璃基 板的外周边缘部，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板载置机构，其特征在于，包括：　载置被处理基板的载置台；　在所述载置台的内侧能够自由突出没入地被设置、且支承所述被处理基板的外周边缘部的第一升降器；和　在所述载置台的外侧能够向所述载置台的载置面的上方移动地被设置，且支承比所述第 一升降器支承所述被处理基板的位置更靠所述被处理基板的中央的部分的第二升降器，　在使所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态下，在所述第一升降器与所述第二升降器间进行所述被处理基板的交接。

【技术特征摘要】
JP 2008-9-5 2008-2287511.一种基板载置机构，其特征在于，包括载置被处理基板的载置台；在所述载置台的内侧能够自由突出没入地被设置、且支承所述被处理基板的外周边缘部的第一升降器；和在所述载置台的外侧能够向所述载置台的载置面的上方移动地被设置，且支承比所述第一升降器支承所述被处理基板的位置更靠所述被处理基板的中央的部分的第二升降器，在使所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态下，在所述第一升降器与所述第二升降器间进行所述被处理基板的交接。2. 如权利要求1所述的基板载置机构，其特征在于所述第二升降器在所述载置面的上方从搬送来所述被处理基板的搬送机构接收所述被处理基板，使所述接收的被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上，在所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态下，所述第一升降器举起所述被处理地基板的外周边缘部，使所述被处理基板从所述第二升降器分离，在所述被处理基板已从所述第二升降器分离的状态下，使所述第二升降器从所述载置台的上方退避，在所述第二升降器已从所述载置面的上方退避的状态下，所述第一升降器将所述被处理基板载置在所述载置面上。3. 如权利要求2所述的基板载置机构，其特征在于在所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态下，所述第 一升降器举起所述被处理基板的外周边缘部，在所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上，并且所述被处理基板的外周边缘部被举起的状态下，使所述第二升降器移动至所述载置面的上方，在所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态下，所述第一升降器将所述被处理基板移载给所述第二升降器，所述第二升降器举起所述被处理基板，使所述被处理基板从所述载置面分离。4. 如权利要求1至权利要求3中任一项所述的基板载置机构，其特征在于所述第二升降器包括能够在垂直方向移动并且能够旋转的轴；和安装在所述轴的前端部分，且能够在所述载置台的载置面的上方旋转的旋转臂。5. 如权利要求1至权利要求3中任一项所述的基板载置机构，其特征在于所述第二升降器包括能够在垂直方向移动的轴；和安装在所述轴的前端部分，能够在所述载置台的载置面的上方伸縮的伸縮臂。6. 如权利要求1至权利要求3中任一项所述的基板载置机构，其特征在于所述第二升降器包括能够在垂直方向移动，并且能够旋转的轴；安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：三枝直也，志村昭彦，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]