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本申请实施例提供一种湿法手臂及半导体湿法设备，其中，湿法手臂包括：手臂主体，设有供液体流过的导流孔，导流孔从手臂主体的顶面贯通至手臂主体的底面；手臂主体的顶面设有导流槽，导流槽连通至导流孔；沿着手臂主体边缘向导流孔的方向，导流槽的深度逐渐增...
该专利属于苏州龙驰半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州龙驰半导体科技有限公司授权不得商用。

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