【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造设备技术，尤其涉及一种湿法手臂及半导体湿法设备。
技术介绍
1、湿法设备是半导体制造工艺中的重要设备，湿法设备采用陶瓷支撑的手臂夹住装有晶圆的片盒，在各药液槽之间进行传送。湿法手臂将片盒从药液槽内取出的过程中，药液被湿法手臂带出，沿着湿法手臂的移动路径撒漏，给湿法设备的维护带来了极大的不便，提高了维护成本。
技术实现思路
1、为了解决上述技术缺陷之一，本申请实施例中提供了一种湿法手臂及半导体湿法设备。
2、根据本申请实施例的第一个方面，提供了一种湿法手臂，包括：手臂主体，设有供液体流过的导流孔，导流孔从手臂主体的顶面贯通至手臂主体的底面；手臂主体的顶面设有导流槽，导流槽连通至导流孔；沿着手臂主体边缘向导流孔的方向，导流槽的深度逐渐增加。
3、根据本申请实施例的第二个方面，提供了一种半导体湿法设备，包括如上所述的湿法手臂。
4、本申请实施例所提供的技术方案，在湿法手臂的手臂主体上设置设有供液体流过的导流孔，导流孔从手臂主体的顶面贯通至手...
【技术保护点】
1.一种湿法手臂，其特征在于，包括：手臂主体，设有供液体流过的导流孔，导流孔从手臂主体的顶面贯通至手臂主体的底面；手臂主体的顶面设有导流槽，导流槽连通至导流孔；沿着手臂主体边缘向导流孔的方向，导流槽的深度逐渐增加。
2.根据权利要求1所述的湿法手臂，其特征在于，导流槽的一端贯通至导流孔，另一端贯通至手臂主体的边缘。
3.根据权利要求1或2所述的湿法手臂，其特征在于，所述导流孔位于手臂主体的中部。
4.根据权利要求3所述的湿法手臂，其特征在于，一个导流孔与多个导流槽连通，各导流槽对称设置于导流孔的外围。
5.根据权利要求1...
【技术特征摘要】
1.一种湿法手臂，其特征在于，包括：手臂主体，设有供液体流过的导流孔，导流孔从手臂主体的顶面贯通至手臂主体的底面；手臂主体的顶面设有导流槽，导流槽连通至导流孔；沿着手臂主体边缘向导流孔的方向，导流槽的深度逐渐增加。
2.根据权利要求1所述的湿法手臂，其特征在于，导流槽的一端贯通至导流孔，另一端贯通至手臂主体的边缘。
3.根据权利要求1或2所述的湿法手臂，其特征在于，所述导流孔位于手臂主体的中部。
4.根据权利要求3所述的湿法手臂，其特征在于，一个导流孔与多个导流槽连通，各导流槽对称设置于导流孔的外围。
5.根据权利要求1所述的湿法手臂，其特征在于，所述导流孔包括：相互连通...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩小朋，彭虎，柴利林，
申请(专利权)人：苏州龙驰半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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