下载半导体结构及制备方法的技术资料

文档序号:41356742

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本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构及制备方法,半导体结构包括:基底以及位于基底上的第一介质层;接触结构,接触结构位于第一介质层内,第一介质层具有露出接触结构顶面的开口,开口还露出接触结构的部分外侧面,部分外侧面与接触结构顶面相连...
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