下载一种抛光垫面形和正交网格沟槽在位测量方法的技术资料

文档序号:41350282

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本发明公开了一种抛光垫面形和正交网格沟槽在位测量方法,在一次测量过程中,利用每组采集数据中的标准块数据段拟合出机床的倾斜角度,有效的消除了每组数据中机床旋转时产生的倾覆误差,以消除了倾覆误差的标准块数据段为参考,将每组面形高度数据进行平移,...
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