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激光加工装置和加工方法制造方法及图纸
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文档序号:41348127
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本发明提供激光加工装置和加工方法,即使附着碎屑也能够不去除碎屑而继续进行加工。激光加工装置包含:保持单元,其对被加工物进行保持;激光振荡器,其射出向保持单元所保持的被加工物照射的激光束;聚光透镜,其使从激光振荡器射出的激光束会聚于被加工物;...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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