下载缓冲基板组件及巨量转移方法的技术资料

文档序号:41339187

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本发明涉及一种缓冲基板组件及巨量转移方法。缓冲基板组件包括:基板;流体缓冲层,位于所述基板的表面,用于在待转移芯片自生长基板上剥离至基板上时,吸收待转移芯片,并降低所述生长基板和待转移芯片界面处的物质解离后施加给待转移芯片的冲击力。通过在缓...
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