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半导体结构和半导体结构的制备方法技术
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文档序号:41339121
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本公开提供一种半导体结构和半导体结构的制备方法,涉及半导体技术领域。该半导体结构包括:电介质层,形成于半导体衬底上;金属层,位于所述电介质层上,具有各向同性的金属晶粒;纵向连接层,位于所述电介质层中并贯穿所述电介质层,连通所述金属层与所述电...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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