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本公开实施例提供一种半导体结构及其制备方法，半导体结构包括：衬底，衬底包括阵列区域、外围区域及位于阵列区域与外围区域之间的接触区域；字线，字线延伸穿过阵列区域和接触区域至外围区域，字线包括第一部分、第二部分和第三部分，第一部分位于阵列区域，...
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