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本发明涉及曝光处理技术领域，具体公开了一种光刻板传送装备及传送方法，其中，光刻板传送装备包括：光刻板台；机械臂；光刻板寄存装置，安装在机械臂末端，用于从光刻板台中提取多个待使用的光刻板；转送装置，用于从光刻板寄存装置提取光刻板，并将光刻板转...
该专利属于广州市艾佛光通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。

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