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结型电容式芯片结构属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种结型电容式芯片结构。本发明提供一种改进型的结型电容式芯片结构。本发明包括上极板（1）和下极板（2），上极板（1）与下极板（2）之间为腔体（5）,其特征在于下极板（2）为掺杂区...
该专利属于午芯（辽宁省）高科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过午芯（辽宁省）高科技有限公司授权不得商用。

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