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公开了一种确定针对衬底上的至少一个目标的测量结果的校正的方法，该目标包括一个或多个感兴趣参数敏感型子目标以及一个或多个感兴趣参数非敏感型子目标，感兴趣参数敏感型子目标各自对感兴趣参数敏感，感兴趣参数非敏感型子目标对感兴趣参数实质上较不敏感或...
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