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本申请属于晶体生长技术领域，本申请实施例提供一种碳化硅晶体的籽晶固定装置及制备方法。包括坩埚盖；环状支撑件，设置于所述坩埚盖的底部，所述环状支撑件的外端面用于固定碳化硅籽晶；其中，所述环状支撑件的外端面与所述碳化硅籽晶的形状适配。本申请通过...
该专利属于广州南砂晶圆半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州南砂晶圆半导体技术有限公司授权不得商用。

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