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三维存储装置及其形成方法制造方法及图纸
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文档序号:41328566
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公开了一种三维(3D)存储装置,其包括:堆叠结构,所述堆叠结构包括交错的第一导电层和第一电介质层;以及沿第一方向延伸穿过堆叠结构的沟道结构,所述沟道结构与沟道结构的底部处的第一半导体层接触。沟道结构包括半导体沟道和位于半导体沟道之上的存储膜...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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