下载三维存储装置及其形成方法的技术资料

文档序号:41328566

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种三维(3D)存储装置,其包括:堆叠结构,所述堆叠结构包括交错的第一导电层和第一电介质层;以及沿第一方向延伸穿过堆叠结构的沟道结构,所述沟道结构与沟道结构的底部处的第一半导体层接触。沟道结构包括半导体沟道和位于半导体沟道之上的存储膜...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。