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一种半导体装置,包括:一沟道区;一栅介电层,位于该沟道区之上;一栅电极,位于该栅介电层之上;一第一源极/漏极区,邻近该栅介电层,其中该第一源极/漏极区具有一第一导电性,而至少该沟道区与该第一源极/漏极区之一包括一超晶格结构;以及一第二源极/...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种半导体装置,包括:一沟道区;一栅介电层,位于该沟道区之上;一栅电极,位于该栅介电层之上;一第一源极/漏极区,邻近该栅介电层,其中该第一源极/漏极区具有一第一导电性,而至少该沟道区与该第一源极/漏极区之一包括一超晶格结构;以及一第二源极/...