温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及曝光设备领域，公开了一种快速检测曝光设备输出变化的光罩以及检测方法，包括光罩本体，所述光罩本体对应晶圆的一个曝光区域设有镂空的第一图案，所述第一图案由若干第一线条组成，或者所述第一图案由若干第一线条以及接触孔组成，若干所述第一线条...
该专利属于成都高真科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都高真科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。