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本技术公开了一一种用于等离子刻蚀的夹紧装置，涉及光电技术领域，旨在解决方便对硅片夹紧的技术问题。其技术方案要点是：包括下夹板与上夹板，所述下夹板的两侧壁设置有竖直的支杆，所述支杆的开设有贯穿其顶部的滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动杆，所述...
该专利属于嘉芯闳扬半导体设备科技（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉芯闳扬半导体设备科技（浙江）有限公司授权不得商用。

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