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文档序号:41315176
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本发明的光模块具备:镜单元,其具有可动镜部;磁铁部,其具有上表面、底面和侧面,并产生作用于所述可动镜部的磁场;和保持构件,其保持所述磁铁部,所述磁铁部具有包含力在第1方向上作用的第1磁铁、和力在第2方向上作用的第2磁铁的海尔贝克结构,所述保...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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