下载一种单埋藏栅功率MOSFET结构及其制备方法的技术资料

文档序号:41313636

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本发明属于MOSFET器件技术,特别涉及一种单埋藏栅功率MOSFET结构及其制备方法,结构包括n+衬底、n‑漂移区、多晶硅、氧化层、P‑body区、P+区、n+区,n‑漂移区设置在n+衬底上,在n‑漂移区顶部的一角切割出一个矩形区域用于设置...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十四研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十四研究所授权不得商用。

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