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本发明涉及物体表面上的颗粒检测。本发明公开了一种用于检验物体表面的系统和方法。在一个实施例中，所述系统包括用于照射物体表面的照射源、用于拦截来自被照射的物体表面的散射光并将物体表面的所需区域的真实图像进行投影的光学元件、以及用于接收被投影的...
该专利属于ASML控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。

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