下载一种应用电镀机改善碳化硅外延片缺陷的方法的技术资料

文档序号:41310745

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种应用电镀机改善碳化硅外延片缺陷的方法,此种方法能够将B规的碳化硅外延片改善为A级规格,有效的提高生产效率,降低生产成本。包含以下步骤:S101、选用预加工的外延片:选用B规碳化硅外延片;S102、制备多孔碳化硅:在电镀机中施...
该专利属于浙江厚积科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江厚积科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。