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本发明提供一种用于Z箍缩放电等离子体源的碎屑清除装置及其应用，包括：机械碰撞部，所述机械碰撞部通过碰撞阻扰高、低能量碎屑以及电荷中性碎屑的运动，降低碎屑的射程；气体吹扫部，所述气体吹扫部利用气体分子撞击碎屑并改变其运动轨迹，进行碎屑清除；箔...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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