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本申请提供一种应用于半导体传输系统的晶圆盒读取装置，涉及半导体设备技术领域，至少包括第一天车轨道、第二天车轨道、第一天车、第二天车、天车口，所述第一天车轨道位于所述第二天车轨道上方，所述第一天车在所述第一天车轨道上将第一晶圆盒运输至所述天车...
该专利属于弥费科技（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过弥费科技（上海）股份有限公司授权不得商用。

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