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本发明提供一种具有设备组构造，能缩短生产线的长度，空间效率高的有机ＥＬ器件制造装置或其制造方法，或者成膜装置或成膜方法。其串联设有多个作为真空室的设备组，该设备组具备：具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室，将上述衬底搬入或搬出的交...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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