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本技术提供了一种靶材固定结构，所述靶材固定结构包括靶材本体，所述靶材本体的任一侧面上设置有若干个凹槽，所述凹槽的内壁周向设置有环状固定件，所述环状固定件的厚度为1～2mm，且所述环状固定件的内壁呈内螺纹孔，所述内螺纹孔用于连接机床。在本技术...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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