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一种晶圆片光刻胶图像获取装置及缺陷检测方法，涉及半导体集成电路制造领域。本发明是为了解决现有晶圆片光刻胶缺陷检测方法还存在无法实现自动化检测且检测精准性低的问题。本发明包括：利用高亮、高均匀性大尺寸面光源设计晶圆片光刻胶缺陷图像采集装置，利...
该专利属于上欧科技（湖州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上欧科技（湖州）有限公司授权不得商用。

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