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本技术提供一种湿法工艺基板处理装置，其包含一槽体、多个外环罩及一升降机构。各外环罩分别环绕槽体，外环罩相互套叠，至少一部分的外环罩能够各自垂直移动。升降机构包含一驱动轴、一沟槽凸轮组及多个连杆，驱动轴连接沟槽凸轮组，在沟槽凸轮组上设置有多个...
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