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基板处理装置制造方法及图纸
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文档序号:41290158
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本发明提供一种基板处理装置。不将配置有用于积存处理液的瓶的液积存部新设置于基板处理装置的外部,就使能够使用于基板的液处理的上述瓶的个数增加。其具有:承载区块,收纳有基板的承载件输入该承载区块;处理区块,其设置有相对于从所述承载区块输送的所述...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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