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一种用于等离子体加工的方法包括：在等离子体加工室中维持等离子体，该等离子体加工室包括第一射频(RF)电极和第二RF电极，其中，维持该等离子体包括：将RF源信号耦合到该第一RF电极；以及将偏置信号耦合在该第一RF电极与该第二RF电极之间，该偏...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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