下载在芯片上形成识别符号的方法及芯片的技术资料

文档序号:41288096

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本发明公开了一种在芯片上形成识别符号的方法及芯片,该方法包括:提供一芯片;基于预设图形,采用等离子体对所述芯片进行刻蚀,使得所述芯片上形成识别符号;其中,所述识别符号为多边形,所述识别符号的最大边长大于或等于12微米,所述识别符号的最小边长...
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