温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种离子源、离子注入装置和离子注入方法。离子源包括壳体、电子枪、电子接收极、含硒固体源、激光器和离子引出极，壳体具有电离室，电子枪和电子接收极设于电离室内，沿第一方向相对且间隔设置。含硒固体源设于电离室内，且具有第一侧壁，激光器朝...
该专利属于广州拓诺稀科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州拓诺稀科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。