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本发明提供了一种晶圆标记装置，包括：打点器以及用于调节所述打点器位移的打点器调节装置；所述打点器调节装置包括连接至外部气路的气动调节装置以及连接至打点器的手动调节装置，所述气动调节装置沿第一方向做伸缩运动，以调节所述打点器沿第一方向的位移，...
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