【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆检测领域，尤其涉及一种晶圆标记装置。
技术介绍
1、在封装检测晶圆时，常常要在显微镜下人工确认晶圆上的芯片是否合格，如果在显微镜下确认芯片不合格，需要人工取下对应的晶圆，并手工点上标记。现有技术中对此也做了改善，通过晶圆打点装置自动完成打点标记，然而现有技术中，通常设置xyz方向的手动调节装置来调节打点器相对显微镜的位置，如此，手动调节较麻烦，调节的精准度也不够，操作过程中容易导致打点器与其他结构干涉。
技术实现思路
1、本专利技术的目的之一在于提供一种晶圆标记装置，以解决现有技术中打点器与其他结构发生干涉的技术问题。
2、为实现上述专利技术目的之一，本专利技术一实施方式提供一种晶圆标记装置，包括：打点器以及用于调节所述打点器位移的打点器调节装置；所述打点器调节装置包括连接至外部气路的气动调节装置以及连接至打点器的手动调节装置，所述气动调节装置沿第一方向做伸缩运动，以调节所述打点器沿第一方向的位移，所述第一方向与水平面成锐角设置，所述手动调节装置相对所述气动调...
【技术保护点】
1.一种晶圆标记装置，其特征在于，包括：打点器以及用于调节所述打点器位移的打点器调节装置；所述打点器调节装置包括连接至外部气路的气动调节装置以及连接至打点器的手动调节装置，所述气动调节装置沿第一方向做伸缩运动，以调节所述打点器沿第一方向的位移，所述第一方向与水平面成锐角设置，所述手动调节装置相对所述气动调节装置可转动设置，以带动所述打点器相对水平面产生转动。
2.根据权利要求1所述的晶圆标记装置，其特征在于，所述第一方向与水平面之间的角度范围为10°至45°。
3.根据权利要求1所述的晶圆标记装置，其特征在于，所述气动调节装置包括沿第一方向设置...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆标记装置，其特征在于，包括：打点器以及用于调节所述打点器位移的打点器调节装置；所述打点器调节装置包括连接至外部气路的气动调节装置以及连接至打点器的手动调节装置，所述气动调节装置沿第一方向做伸缩运动，以调节所述打点器沿第一方向的位移，所述第一方向与水平面成锐角设置，所述手动调节装置相对所述气动调节装置可转动设置，以带动所述打点器相对水平面产生转动。
2.根据权利要求1所述的晶圆标记装置，其特征在于，所述第一方向与水平面之间的角度范围为10°至45°。
3.根据权利要求1所述的晶圆标记装置，其特征在于，所述气动调节装置包括沿第一方向设置的活塞杆、供所述活塞杆做活塞运动的活塞槽、沿第一方向分别设置于所述活塞槽两端的第一气管接头和第二气管接头，所述第一气管接头和第二气管接头连通所述活塞槽以通入驱动所述活塞杆沿第一方向运动的气体。
4.根据权利要求3所述的晶圆标记装置，其特征在于，所述气动调节装置包括通过所述活塞杆连接的第一传动件和第二传动件，所述第一传动件和第二传动件沿第一方向设置。
5.根据权利要求4所述的晶圆标记装置，其特征在于，所述活塞槽设置于所述第一传动件，所述第一气管接头和第二气管接头设置于所述第一传动件，所述活塞杆的一端可活动位于所述活塞槽内，另一端固定连接所述第二传动件。
6.根据权利要求1所述的晶圆标记装置，其特征在于，所述手动调节装置包括连接至所述气动调节装置的连接板，所述气动调节装置包括第一连接部，所述连接板包括与所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈秀龙，
申请(专利权)人：颀中科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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