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本发明涉及芯片制造技术领域，涉及一种芯片键合方法及其键合设备，本发明包括：机架和设置于机架上的Y向定龙门，所述机架中部沿Y向设置有两组晶片台，所述机架中部沿X向设置有两组基板工作台，所述基板工作台位于晶片台之间，所述的Y向定龙门左右两侧各设...
该专利属于唐人制造（嘉善）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过唐人制造（嘉善）有限公司授权不得商用。

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