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一种等离子体处理室包含具有线圈的上部窗，该线圈被放置于上部窗上方。线圈连接外壳被放置于线圈上方。计量外壳放置于线圈连接外壳上方。光谱反射系统被放置于计量外壳内部。光谱反射系统包含光学准直器，该光学准直器定位成引导光束穿过计量外壳内的开口、线...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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