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本公开提供了一种半导体生产的调控方法、系统及设备，其中，所述方法包括：确定每批次待加工晶圆的机台顺序；依据机台当前作业情况，确定所有批次待加工晶圆的机台路径；机台依据待加工晶圆的机台路径的优先级对所有批次待加工晶圆加工，并在加工每批次晶圆时...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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