温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硅片输送装置，包括：多个装片工位，用于放置未加工硅片或已加工硅片，当任意一个装片工位处于空置状态时，其余装片工位处于放置状态；第一卸片工位用于放置已加工硅片或者放置未加工硅片；第一搬运机构用于将未加工硅片或者已加工硅片在装片...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。