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硒化铋薄膜的制备方法技术
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文档序号:41267987
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本发明公开了一种Bi<subgt;2</subgt;Se<subgt;3</subgt;薄膜的制备方法,所述方法包括:在真空、高温及通入氢气下,将高纯铋源和高纯硒源等离子体化学气相沉积至洁净衬底上得到Bi<su...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。
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