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用于直接驱动式射频功率供应源的射频校准系统包括参考盒，其包括用于将非参考输入阻抗转换成参考输出阻抗的参考电路。参考盒具有电连接至直接驱动式射频功率供应源的射频输出耦合的输入连接器。射频功率计具有电连接至参考盒的输出连接器的射频功率输入。射频...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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