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本发明涉及一种低相干光干涉型四方柱阵列微结构形貌精密检测装置及方法，该检测装置包括低相干光源、光纤耦合器、显微探测臂、参考臂、反射式光栅光谱仪和计算机；所述低相干光源的低相干光被引到光纤耦合器后分别进入显微探测臂和参考臂，进入参考臂的光经一...
该专利属于福州大学所有，仅供学习研究参考，未经过福州大学授权不得商用。

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